深圳光明工業(yè)氣體氮?dú)夤艿腊惭b公司 廣東粵佳氣體集團(tuán)有限公司是廣東地區(qū)大型的綜合性氣體生產(chǎn)供應(yīng)商，公司創(chuàng)始于1993年，是一家有三十多年老牌民營氣體公司，總部位于廣州市，目前集團(tuán)擁有十個生產(chǎn)基地，配送網(wǎng)絡(luò)覆蓋廣州、東莞、深圳、佛山、惠州、中山、珠海、江門、清遠(yuǎn)、肇慶等地。集團(tuán)現(xiàn)擁有多套空氣液化分離裝置、高純液氧純化裝置、乙炔生產(chǎn)裝置、氫氣生產(chǎn)裝置、液氦及氦氣充裝裝置、工業(yè)氣體及可燃?xì)怏w充裝裝置、混合氣體和標(biāo)準(zhǔn)氣體配置中心、氣體質(zhì)量檢測中心、5N高純氣體純化裝置、6N超純氣體純化裝置、氣瓶檢驗(yàn)站點(diǎn)等。粵佳氣體工廠已通過多項(xiàng)質(zhì)量體系認(rèn)證及安全管理體系認(rèn)證，并榮獲國家專精特新企業(yè)和多次獲得工商局重合同守信用優(yōu)秀單位稱號。粵佳氣體集團(tuán)擁有俄羅斯穩(wěn)定的氦氣資源供應(yīng)渠道，建立了完善的液氦運(yùn)輸網(wǎng)絡(luò)，并且是廣東省擁有民營氦氣及ISO液氦充裝的氣體公司，充分保障了華南地區(qū)制造與科研領(lǐng)域?qū)Ω呒兒獾某掷m(xù)穩(wěn)定需求。

  深圳光明工業(yè)氣體氮?dú)夤艿腊惭b公司 粵佳氣體集團(tuán)現(xiàn)經(jīng)營銷售產(chǎn)品有：

  氦氣和液氦：廣泛應(yīng)用于醫(yī)療核磁共振成像、半導(dǎo)體制造、光纖制造、低溫超導(dǎo)實(shí)驗(yàn)及航天推進(jìn)系統(tǒng)等領(lǐng)域，純度涵蓋高純5N、超純6N，包裝包括40升鋼瓶、50升鋼瓶、液氦杜瓦罐、氦氣管束TT、液氦ISO儲槽;可滿足不同行業(yè)對高穩(wěn)定性與高潔凈度的嚴(yán)苛要求。

  工業(yè)氣體：涵蓋氧氣、氮?dú)狻鍤狻錃狻⒍趸肌⒁胰驳瘸Ｒ?guī)工業(yè)氣體，面向粵港澳大灣區(qū)重點(diǎn)制造業(yè)集群(如廣州黃埔、深圳南山、東莞松山湖、佛山三龍灣等地);工業(yè)氣體產(chǎn)品嚴(yán)格執(zhí)行國家標(biāo)準(zhǔn)、緊急訂單24小時內(nèi)直達(dá)。

  食品級氣體：食品級氮?dú)狻⑹称芳壎趸肌⑹称芳?/span>N2、食品級液體二氧化碳。

  電子特種氣體：電子級特種氣體主要面向集成電路制造、LED外延生長、光伏電池鍍膜等工藝環(huán)節(jié)，純度達(dá)5N–6N(99.999%–99.9999%)。

  5N高純氣體：高純氮?dú)?/span>(5N)、高純氬氣(5N)、高純氧氣(5N)、高純氫氣(5N)、高純氦氣(5N)、高純二氧化碳(5N)、高純甲烷(5N)等，包裝包括 40和50升鋼瓶、管束TT，純度均達(dá)99.999%(5N)及以上，配套超潔凈充裝系統(tǒng)與電子級內(nèi)表面處理氣瓶(EP級)，滿足半導(dǎo)體、顯示面板、精密光學(xué)鍍膜等對顆粒物、金屬離子及水分含量的極限控制要求;所有高純氣體產(chǎn)品均經(jīng)第三方檢測機(jī)構(gòu)全項(xiàng)認(rèn)證，并提供COA質(zhì)量證書及批次追溯報告。

  6N超純氣體：超純氮?dú)?/span>(6N)、超純氬氣(6N)、超純氫氣(6N)、超純氦氣(6N)、超純甲烷(6N)、及超純氧氣(6N)，純度達(dá)99.9999%(6N)，采用全不銹鋼EP級管路充裝系統(tǒng)。

  混合氣體：標(biāo)準(zhǔn)混合氣體、激光混合氣體、準(zhǔn)分子激光混合氣體、(如KrF、ArF光刻用混合氣)、羅芬激光混合氣體、CO2激光混合氣體、氫氮混合氣體、氦氧混合氣體等，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體光刻、精密焊接、科研實(shí)驗(yàn)等場景。

  同位素氣體：氘氣(D2)、碳-13(13CH4)、氮-15(15N2)、氧-18(H218O、18O2)等高豐度同位素氣體。

  工程安裝服務(wù)：提供涵蓋氣體站房設(shè)計、特種設(shè)備安裝(含壓力管道GC2級資質(zhì))、智能監(jiān)控系統(tǒng)集成、實(shí)驗(yàn)室管道設(shè)計安裝等。具備GC2級壓力管道安裝資質(zhì)及特種設(shè)備安裝改造維修許可證。

  深圳光明工業(yè)氣體氮?dú)夤艿腊惭b公司 半導(dǎo)體制造的芯片蝕刻工序，依靠工業(yè)氣體氮?dú)飧呒兌栊浴怏w純度可控的物理特性構(gòu)建潔凈作業(yè)環(huán)境。工業(yè)氣體氮?dú)饨?jīng)過提純后雜質(zhì)含量極低，且常溫下不與硅片、蝕刻藥液發(fā)生反應(yīng)，適配高精度芯片加工需求。芯片蝕刻腔體設(shè)備是芯片微觀電路雕刻的核心設(shè)備，負(fù)責(zé)在硅片表面精準(zhǔn)蝕刻出電路紋路。作業(yè)前，設(shè)備腔體需通入高純工業(yè)氣體氮?dú)膺M(jìn)行多次置換， 排出腔體內(nèi)部的氧氣、粉塵與微量雜質(zhì)，維持腔體超高潔凈無氧氛圍。蝕刻作業(yè)過程中，持續(xù)通入微量工業(yè)氣體氮?dú)夥€(wěn)壓，防止外界空氣滲入腔體干擾蝕刻精度。工業(yè)氣體氮?dú)獾姆€(wěn)定特性可避免硅片表面氧化、電路紋路偏移瑕疵，大幅提升芯片蝕刻的精準(zhǔn)度與良品率，滿足高端半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)。